Ko te whakamahinga o nga hau i roto i nga ra o te ahumahi semiconductor hoki mai i te timatanga o te 1950 tae atu ki te 1960's. I te wa o te mahinga semiconductor, ka whakamahia te nuinga o nga hau hei horoi me te tiaki i nga taonga semiconductor hei whakarite kia ma, me te kounga. I waenga i nga hau e tino whakamahia ana ko te hauota me te hauota.
I te hangarau semiconductor i whakawhanakehia me te hangahanga whakangao tonu hei whakapai ake, ka piki haere te tono mo nga hau. I te tau 1970, me whakawhanake tonu i te hangarau semiconductor, ko te whakamahinga o nga hau i roto i nga tukanga matua penei i te pikinga o nga kiriata angiangi, me te hāora me te hau. I te tau 1980 ka kite i te piki ake o te tono mo nga hau me te whanaketanga o nga waahanga whakaurunga me te pikinga o te tono mo ratou. I whakamahia whānuitia te konupuku i roto i te tukanga hangahanga, tae atu ki te huringa konumotu hauwai me te hauota hauota. A mai i te 1990 tae noa ki tenei wa, ko te tono mo nga hau-a-tino nui me nga hau motuhake kua piki ake i te rahi o nga taputapu semiconductor i tautokohia me nga mahi hou kua whakauruhia. Hei tauira, ko te tono o te ultraviolet tino pai (EUV) e hiahia ana ki te whakamahi i nga hau tino pai penei i te hauota me te hauota.
Kei te haere tonu te hau miihini ki te whakawhanaketanga o nga hua e pa ana, na te mea he nui nga hua o te hau, me te aukati hau, me etahi atu e whai ake nei:
Ko nga Kaihautuku Toi: Ko nga kaiwhakahaere o te pehanga he taputapu hei whakahaere i te pehanga hau. I te nuinga o te waa ko te whakariterite i te raarangi whakahaere me te pūoko pēhanga. Ko nga kaiwhakahaa te tango i te whakauru hau kaha me te pupuri i te pehanga o te hau whakaputa ma te whakatika i te valve hei whakatutuki i nga whakaritenga tono. Kei te whakamahia whānuitia te reanga i roto i nga waahanga penei i te umanga, te hanga me nga kaimahi, me etahi atu, i roto i etahi atu, hei whakarite i te pumau me te haumaru o te toha hau.
Nga hinu hau: Ka whakamahia nga hinu hau hei whakahaere i te rere o nga hau me te kati i nga waahanga hau. I te nuinga o te waa ka whai waahi ratou ki te mahi, ka kati ranei i te rere hau. He maha nga momo o te hinu hau, tae atu ki nga tohu a-ringa, nga arai hiko me nga hinu pneumatic. E whakamahia whānuitia ana ratou i roto i nga punaha hau hei whakahaere i te rere, te pehanga me te reanga o te hau.
Ka taea e te penga pehi hau: ka whakamahia nga kaaraiti hau ki te ine i te taumata pehanga o te hau. I te nuinga o te wa ka whakauruhia ratou ki nga waahi whakahirahira i roto i nga punaha hau ki te aro turuki i nga huringa o te pehanga me te whakarite kia noho haumaru ratou. Kei te whakamahia te taha o te pehitiki hau i roto i te umanga, hangahanga me nga kaimahi, kua uru hoki te umanga semiconductor.
Ko nga Kaipupuri Tae Gas: Ka whakamahia nga Kaipupuri Leak Gas ki te kite i nga riihi i roto i nga punaha hau. Ka kitea e ratouKo te aroaro o te riihi hau ka whakatangihia he whakaohooho kia taea ai te whakahaere i te waa hei aukati i nga aituā Leakage. Kei te whakamahia whānuitia nga kaitirotiro riihi hau ki nga tono matū, matū me te tono hau, me te umanga semiconductor kua uru hoki.
Te wa tuku: Feb-20-2024