Te Hangarau Hangarau mo nga punaha tuku hau-nui mo nga tikanga semiconductor

Ko te hangarau piping haunga hau nui he waahanga nui o te punaha tuku hau-nui, ko te hangarau matua te whakaputa i te hau tino pai ki te whakamahi me te pupuri tonu i te kounga tohu; Kei roto i te hangarau miihini hiko o te hau-nui te hoahoa tika o te punaha, te kowhiringa o nga waahanga me nga taputapu, te hanga me te whakamatautau, me te whakamatautau. I nga tau kua pahure ake nei, ko te nui o nga whakaritenga mo te poke me te poke o nga momo microelectronics i whakaaturia e nga hangarau pipi o te hinu tino nui, e tino aro ana. Ko te mea e whai ake nei he tirohanga poto mo te puhoi hau nui-nui mai i te kowhiringa rauemiof Hanga, me te whakaaetanga me te whakahaere o ia ra.

Nga momo o nga hau noa

Whakarōpūtanga o nga hau noa i te umanga hikohiko:

Tuhinga o mua(Hau hau): haukana (h₂₎, Nitrogen (n₂), oxygen (o₂), Argon (a₂), etc.

Nga Haumaru Motuhakehe sih₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,Hlc,CF₄ ,NH_3,Porac_3, SIH2CL₂ SIHCL3,NH_3,  Pēuki_{3 ,}Puia₄ ,Kōpuui₃ ,Tīkau,C₂F_6, N2O,F_2,HF,Hbr sf₆...... etc.

Ko nga momo o nga hau motuhake ka taea te whakarōpūtia hei piripirihau, paitinihauTuhinga o muahauTuhinga o muahauTuhinga ka whaihau, me era atu, ko nga haunga semiconductor e whakamahia ana i te nuinga o te waa e whai ake nei.

(i) Adonicsive / paitinihau: HCl, bf₃, Wf₆Tuhinga ka whai mai₂Cl₂, NH₃, PH₃, Cl₂, BCL₃... etc.

(ii) Flammabilityhau: H₂, Ch₄, Sih₄, PH₃, Ash3, SIH₂Cl₂, B₂H₆, Ch2f_2,Ch₃F, CO ... etc.

(iii) Te whakakotahitangahau: O₂, Cl₂, N₂O, nf₃... etc.

(iv) inerthau: N₂Tuhinga ka whai₄, C₂F₆, C₄F_8,Pē₆Tuhinga ka whai₂, Ne, kr, he ... aha atu.

He maha nga hau semiconductor he kino ki te tinana o te tangata. Ina koa, ko etahi o enei hau, penei i te SIH₄ Ko te whakakotahitanga tuuturu, i te wa e raru ai te riihi ki te hāora me te hāora i te rangi ka tiimata ki te tahu; me te pungarehu₃Te paitini nui, ko te riihi iti ka raru i te mate o te tangata, na enei kino e kitea ana, na reira ko te whakaritenga mo te haumaru o te hoahoatanga.

Tuhinga o mua  

Hei taonga nui mo te umanga umanga hou, ka whakamahia te maha o nga hau nui, te kowhatu motuhake, te miihini, te miihini, te rongoa me nga waahanga rongoa. Ko te tono o te hau he paanga nui ki te hangarau tiketike o enei mara, a ko tana hau nui rawa atu, he hau ranei. Ma te hiahia anake me te whakatairanga i nga momo ahumahi hou me nga hangarau hangarau hou me te hangarau hangarau, ka taea te whakawhanake i nga hua o te umanga hou ma te tuku i nga momo, te kounga me te rahi.

Tono hau i roto i te microelectrocs me te umanga semiconductor

Ko te whakamahinga o te hau he mea nui i roto i te tikanga semiconductor, na te kaupapa semiconductor i whakamahia i roto i nga umanga-hiko o mua, ko te katoa o nga mahi semiconductor e kiia nei ko te mahinga semiconductor e kiia ana ko te mahinga SEMIConductor. Ko te pokekore o te hau he paanga ki te whakatutukitanga o nga waahanga me nga hua o te hau, ka hono te haumarutanga o te hau ki te hauora o nga kaimahi me te haumaru o nga mahi tipu.

Te hiranga o te pipi nui-a-tino i roto i te waka hau nui-nui

I roto i te mahinga o te kowiri tira me te hanga rauemi, tata ki te 200g o te hau ka uru ki te toni. I muri i te tukatuka o te kowiri tira, kaore i te piri noa ki nga momo poke, engari kei te uru ano hoki ki tana miihini whakarewa. I te wa e rere ana te hau i roto i te paipa, ka uru te whakarewa i tenei waahanga o te hau ka uru ano ki te hau, ka poke i te hau parakore. I te wa e rere ana te hau i roto i te ngongo, ka aukati te ngongo i te hau i raro i te pehanga, ka uru ano te hau totika ki te ngongo parakore. I te wa ano, kei te whakahuahia te panui me te whakatau, kia puta ai te whakarewa i runga i te mata o roto o te ngongo, ka whakapoke i nga matūriki puehu i roto i te ngongo. Ko tenei ahuatanga o te ngongo he mea nui ki te whakarite i te poke o te hau e kawea ana, kaore e tino pai ana ki te mata o roto o te ngongo, engari he tino kaha ano hoki.

I te wa e whakamahia ana te hau me te kaha o te mahi whakahiato, me whakamahi nga putorino kowiri tira-kore e taea te whakamahi i nga putorino. Ki te kore, ka hua te putorino ki te mata o roto mo te koroua, me nga keehi nui o te whakarewa whakarewa, he mea nui ranei, ka poke te hau parakore.

Ko te hononga o te tino maamaa me te nui o te tuku hau me te tohatoha i nga paipa o nga reiti rere nui.

Ko te tikanga, ka uru katoa ratou, ka whakamahia nga ngongo ki te kore e rereke i te whakahaere i te wa e whakamahia ana te mahi. Ko nga rauemi me te nui o te ihirangi waro e pa ana ki te hau o nga waahanga ka uru ki roto, ki waho o te putorino, te maroke me te horoi o nga mahi katoa.

Hei whakarapopototanga, mo te hau-tino-puutea me te paipa whakawhiti hau, he mea nui ki te whakamahi i te punaha kowiri paraharaha (tae atu ki nga paipa paipa nui (uru) ki te tohatoha hau nui.

Ko te ariā matua mo te hangarau ma mo te tuku tuku me te tohatoha paipa

Ko te whakawhiti tinana hau totika me te horoi i te piping te tikanga kua whakaritea, kia whakahaere ranei mo nga waahanga e toru o te hau kia kawea.

Ko te ihirangi o te wai ngoikore: ko te kaupapa o te poke o te hau, penei i te tauwehenga o te hauhautanga o te hau.

Ko te maroke: te nui o te makuku makuku i te hau, ko te nui ranei e kiia ana ko te makariri, penei i te ATMospheric Butress Dew Point -70. C.

Ma te pokekore: Ko te maha o nga matūriki poke kei roto i te hau, te rahi o te μm, he maha nga matūriki / m3 te nuinga o te wa e pa ana ki te hinu MG / M3

Whakarōpūtanga Rahi Puku: Ko nga matūriki porehu, e tohu ana i te whiu paipa, ka hangaia e nga matūriki whakarewa, me nga microorganis, me etahi atu o te rahi o te rahinga matū, e rite ana ki te rahi o tona rahi matūriki

a) Nga matūriki nui - Rahi matūriki i runga ake i te 5μm

b) matūriki - te diameter rauemi i waenga i te 0.1μm-5μm

c) matotoru-micro-micro - te rahi matūriki iti iho i te 0.1μm.

Hei whakarei ake i te tono o tenei hangarau, kia taea ai te mohio ki te rahi o te matūriki me nga waahanga μm, he huinga tohu motuhake e whakaratohia ana mo te tohutoro

Ko te mea e whai ake nei ko te whakataurite mo nga matūriki motuhake