Ko te hangarau paipa hau parakore teitei he waahanga nui o te punaha whakangao hau parakore, koinei te hangarau matua ki te tuku i te hau parakore e hiahiatia ana ki te waahi o te whakamahi me te pupuri tonu i te kounga tohu;Ko te hangarau paipa hau parakore teitei ko te hoahoa tika o te punaha, te kowhiringa o nga taputapu me nga taputapu, te hanga me te whakaurunga, me te whakamatautau.I roto i nga tau tata nei, ko te kaha ake o nga whakaritenga mo te ma me te poke o nga hau parakore teitei i roto i te hanga o nga hua microelectronics e tohuhia ana e nga waahanga whakauru nui-nui kua kaha ake te awangawanga me te whakanui i te hangarau paipa o nga hau parakore.E whai ake nei he tirohanga poto mo te paipa hau parakore teitei mai i te kowhiringa rauemiof hanga, me te whakaaetanga me te whakahaeretanga o ia ra.
Nga momo haurehu noa
Te whakarōpūtanga o nga hau noa i roto i te ahumahi hiko：
Nga hau noa（hau nui）: hauwai (H2), hauota (N2), hāora (O2), argon (A2), etc.
Nga hau motuhakeko SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… etc.
Ko nga momo hau motuhake ka taea te whakarōpūtia hei pirauhau, paitinihau, muramurahau, muramurahau, korekorehau, me etahi atu. Ko nga hau e whakamahia nuitia ana ka whakarōpūtia penei e whai ake nei.
(i) He waikura / paitinihau: HCl , BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3… etc.
(ii) Te mura o te ahihau: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO… etc.
(iii) te mura o te ahihau: O2, Cl2, N2Aue, NF3… etc.
(iv) Karekauhau: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He…etc.
Ko te maha o nga hau semiconductor he kino ki te tinana o te tangata.Ina koa, etahi o enei hau, penei i te SiH4 he mura noa, i te mea ka kaha te tauhohenga o te turuturu ki te hāora i te rangi ka timata te wera;me AsH3he tino paitini, he iti noa te rerenga ka pa te mate ki te oranga o te tangata, na enei mea tino kino, no reira he tino nui nga whakaritenga mo te haumarutanga o te hoahoa punaha.
Te whānuitanga tono o nga hau
He mea tino nui mo te ahumahi hou, ka whakamahia nga hua hau, me te maha o nga hau noa, nga hau motuhake ranei e whakamahia ana i roto i te whakarewa, te rino, te hinu, te ahumahi matū, te miihini, te hikohiko, te karaihe, te karamu, te hanga whare, te hanga. , te tukatuka kai, te rongoa me nga waahanga rongoa.Ko te whakamahinga o te hau he paanga nui ki te hangarau teitei o enei mara, ina koa, he mea tino nui te hau, te hau tukatuka ranei.Ma nga hiahia me te whakatairanga o nga momo waahanga ahumahi hou me nga mahi putaiao me nga hangarau hou, ka taea te whakawhanake i nga hua o te umanga hau i runga i nga momo rereke, te kounga me te rahinga.
Tono hau i roto i te microelectronics me te ahumahi semiconductor
Ko te whakamahinga o te hau he waahi nui i roto i te tukanga semiconductor, ina koa ko te tukanga semiconductor kua whakamahia nuitia i roto i nga momo ahumahi, mai i te ULSI tuku iho, TFT-LCD ki te ahumahi miihini-hiko-hiko (MEMS) o naianei, katoa o e whakamahi ana i te tukanga semiconductor e kiia nei ko te mahi hanga hua.Ko te ma o te hau he tino paanga ki te mahi o nga waahanga me nga hua o nga hua, me te haumaru o te tuku hau e pa ana ki te hauora o nga kaimahi me te haumaru o nga mahi tipu.
Te hiranga o te paipa paipa teitei i roto i te kawe hau parakore teitei
I roto i te tukanga o te kowiri tira whakarewa me te hanga rauemi, e pā ana ki te 200g o te hau e taea te whenumi ia tana.I muri i te tukatuka o te kowiri tira, ehara i te mea ka piri noa tona mata ki nga momo poke, engari ano hoki i roto i tana kurupae whakarewa he nui te hau.Ka rere te hau i roto i te paipa, ka uru te konganuku ki tenei wahanga o te hau ka uru ano ki te rere o te hau, ka poke te hau parakore.Ka mutu te rere o te hau i roto i te ngongo, ka uru te ngongo i te hau i raro i te pehanga, a ka mutu te rere o te hau, ka puta te hau i roto i te ngongo ki te whakaheke i te pehanga ki te whakatau, ka uru ano te hau whakatau ki te hau parakore i roto i te ngongo. hei poke.I te wa ano, ka tukuna ano te whakauru me te whakatau, na te whakarewa i runga i te mata o roto o te ngongo ka whakaputa i etahi paura, a ko enei matūriki puehu whakarewa ka whakapoke i te hau parakore i roto i te ngongo.Ko tenei ahuatanga o te ngongo he mea nui ki te whakarite i te ma o te hau e mauria ana, ehara i te mea ko te maeneene tino teitei o te mata o roto o te ngongo, engari ano hoki he aukati kakahu teitei.
Ina whakamahia te hau e kaha ana te mahi kino, me whakamahi nga paipa kowiri tira mo te paipa.Ki te kore, ka puta mai te paipa i nga waahi pirau i runga i te mata o roto na te waikura, a, i roto i nga keehi kino, ka nui te waahi o te tihorea whakarewa, tae noa ki te perforation, ka poke i te hau parakore hei tohatoha.
Ko te hononga o te whakawhiti hau-ma me te maemaa-nui me nga paipa tohatoha o nga reiti rere nui.
I roto i te parau tumu, he paiherea katoa o ratou, a ko nga ngongo e whakamahia ana e hiahiatia ana kia kore he whakarereketanga i roto i te whakahaere i te wa e whakamahia ana te whakapiri.Ko nga taonga he nui rawa te waro o te waro e pa ana ki te urunga o te hau o nga waahanga kua paiherea i te wa e whiria ana, na te mea ka uru te tahi o nga hau ki roto me waho o te putorino me te whakangaro i te ma, te maroke me te ma o te hau tuku, ka mate o tatou kaha katoa.
Hei whakarāpopototanga, mo te hau parakore teitei me te paipa tuku hau motuhake, he mea tika ki te whakamahi i te maimoatanga motuhake o te paipa kowiri tira tino parakore, ki te hanga i te punaha paipa tino parakore (tae atu ki nga paipa, nga taputapu, nga paera, VMB, VMP) i roto Ko te tohatoha hau parakore teitei he kaupapa nui.
Te ariā whanui mo te hangarau ma mo te tuku me te tohatoha paipa
Ko te tuku tinana hau tino parakore me te ma me te paipa te tikanga he whakaritenga, he mana whakahaere ranei mo nga waahanga e toru o te hau hei kawe.
Pua hau: Ko te ihirangi o te hau poke i roto i te gGas pure: Ko te ihirangi o te hau poke i roto i te hau, te nuinga o te wa e whakaatuhia ana hei paheketanga o te maa hau, penei i te 99.9999%, ka whakahuahia ano ko te ōwehenga rōrahi o te poke o te haurangi ihirangi ppm, ppb, ppt.
Te maroke: te nui o te makuku i roto i te hau, te nui ranei e kiia nei ko te makuku, ka whakaatuhia i runga i te tohu tomairangi, penei i te tohu tomairangi hau -70.C.
Te ma: te maha o nga matūriki poke kei roto i te hau, te rahi o te matūriki o te µm, te maha o nga matūriki/M3 hei whakaatu, mo te hau kōpeke, ka whakaatuhia ano hoki e hia nga mg/m3 o nga toenga totoka kaore e taea te karo, e kapi ana i te hinu hinu. .
Te whakarōpūtanga rahinga poke: matūriki poke, ko te nuinga e pa ana ki te whiu paipa, te kakahu, te waikura i hangaia e nga matūriki whakarewa, nga matūriki o te hau, me nga microorganisms, phages me te makuku hau-makuku topata hau, me era atu, i runga i te rahi o tona rahi matūriki. kua wehea ki
a) Matūriki nui – rahi matūriki i runga ake i te 5μm
b) Matūriki – diameter rauemi i waenganui i te 0.1μm-5μm
c) Nga matūriki ultra-micro - te rahi o te matūriki iti iho i te 0.1μm.
Hei whakarei ake i te whakamahinga o tenei hangarau, kia mohio ai koe ki te rahi o te matūriki me nga waeine μm, ka whakaratohia he huinga mana matūriki motuhake hei tohutoro.
E whai ake nei he whakataurite mo nga matūriki motuhake
| Ingoa/Rahi matūriki (µm) | Ingoa/Rahi matūriki (µm) | Ingoa/ Rahi matūriki (µm) |
| Huarere 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Aerosolized microdroplet 1-12 |
| Te wahie karihi 0.01-0.1 | Peita 0.1-6 | Rere pungarehu 1-200 |
| Wao pango 0.01-0.3 | Miraka paura 0.1-10 | Pesticide 5-10 |
| Resin 0.01-1 | Huakita 0.3-30 | Te puehu sima 5-100 |
| Paoa hikareti 0.01-1 | Te puehu kirikiri 0.5-5 | Te hae 10-15 |
| Silicone 0.02-0.1 | Pesticide 0.5-10 | Te makawe tangata 50-120 |
| Tote tioata 0.03-0.5 | Te puehu whanariki 1-11 | kirikiri moana 100-1200 |
Wā tuku: Hune-14-2022